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能够达到这个目标,这台机器上加装了大量的减速机,并且为了能够达到目的,还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转,这才能精准的进行光刻。

    徐光亮看了一会,找到负责人问:“现在什么情况?22纳米光刻机设什么时候能够成功?十四纳米呢?”

    负责人摇摇头说:“现在这个设计很难达到14纳米精度,不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法。”

    他一听非常有兴趣问:“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度?”

    “集成光刻微动机电技术!”负责人说。

    “是这个?”徐光亮当然知道这个技术,说起来也是因为光子核心知道的这个东西,因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案。但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案,所以没有允许,因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术,毕竟它的响应速度制约了光子核心运算速度。

    但是现在不同,这个并不是光子核心,如果能够用这套东西解决精度问题,那也是不错的方案。

    负责人喋喋不休的给徐光亮科普这个东西,徐光亮摆了摆手说:“我知道这个东西,那么你们做过实验吗?”

    “做过了,我们使用32纳米的光刻机进行光刻零件制作,得到了光刻零件和微型伺服电机,大小只有数百纳米那么大,经过实验,这些小东西能够进行数十纳米的精准移动。”负责人领着徐光亮来到了一个由很多小平台组成的机械旁。

    徐光亮看了看这个别致的小机器,它的大小只有一米见方,旁边伸出了一个操作台,底部是由铸铁做成的重量高达数吨的底座,机器是按在上面的,底座周围采用的是隔离安装,周围挖空,防止外界机械振动对机器造成影响。

    负责人叫来一个人进行操作,徐光亮看到,开启之后,早已经准备好的切割好的芯片块被传料装置传到工位上,经过定位之后,拖着芯片块的底板开始移动,遵循靠近降低速度的原则,芯片顺畅的加工起来。

    这还只是一块加工,负责人表示,如果需要的话,这一台机器能够同时加工上百块芯片,之所以这么大的空间只有这么多,也是为了防止干扰问题,现在的距离时最合适的。

    徐光亮有些奇怪的问:“既然这个机器现在已经成功了,为什么不全力展开这个机器的工业化进程?”

    “主要是制作难度太高了。”负责人摇头道:“这个机器的制作需要大量的光刻机进行配合,而且光刻机是需要改造的,所以我们采取了利用现有的光刻机进行零件的制作,废了好大得劲才完成的这台机器。”

    “为了能够得到更高精度的零件以及伺服电机,我们准备攻克22纳米光刻机后,制作更小的光刻零件之后,再进行下一步的精度提升。”

    “所以我们最近都在想办法将22纳米光刻机研制成功。”负责人指了指22纳米那里说道。

    徐光亮看了看这台小机器,突然问道:“如果这台机器制作的是碳基芯片呢?”

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